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ALMATEC / アルマテック社(ドイツ)
半導体プロセス用ダイアフラムポンプ 

電子材料や腐食性がある液体の移送に最適

特長

  • 接液部に高純度PTFE-TFM採用
  • メタルフリー(金属部品の使用なし)
  • パーティクル発生は極小
  • クラス100クリーンブースで組付け
  • 高性能脈動防止ダンパー採用で脈動が極小

概略仕様

型 式 FUTUR 10T FUTUR 20T FUTUR 50T FUTUR 100T
接続サイズ(FNPT) 3/8″ 1/2" 1″ 1-1/4″
最大吐出流量 (ℓ/min) 10 20 50 100
最高使用温度(℃) 200 200 130 130
最大使用圧力(MPa) 0.6 0.6 0.6 0.6
自吸能力/ドライ時(m水柱)  1 2.5 3.5 4
重量(kg) 2.3 4.2 8.8 17.6

※最高使用温度は圧力条件により異なります

 

高性能 ポンプ一体型脈動防止ダンパー

  • 自動調整機能により、最適な脈動防止効果を実現
  • 高いフィルターろ過精度
  • 一体型構造による省スペース実現

用途・事例

  • 電子材料原料等、デリケートな液体の移送
  • 半導体製造装置への搭載
  • CMPスラリーの搬送
  • レジストの搬送
  • 高純度液体のフィルターろ過用途

  

メーカーホームページURL

https://www.psgdover.com/almatec
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